〇評価方法
一般に、パーティクルカウンターでの数値化は容易であるが、実際の電子部品での製造現場では、クリーンブース・クリーンルームとして機能しているかの確認程度と考えて良い。
より現実的な評価について述べる。例えば、ある設備上や作業机の端部に、清浄な表面を暴露した状態で、スライドガラスやシャーレを設置し、一定期間、通常の作業を行なった後、実顕微鏡で観察すると、想像以上の塵埃や異物を確認することができる。その形態や、単位面積当たりの数を評価することが有用である。更に、塵埃や異物を、ＳＥＭ／ＥＤSで、観察・分析することで、形態や組成によって、その発生源を特定することもできる。
パーティクルカウンターでの数値よりも、製品不良に至る可能性のある塵埃・異物を特定して、その発生を抑制することが可能となる。また、既に述べたように、塵埃等が、実際の製品構成物にたどり着けないような工夫、製品構成物の保管方法の適正化、ハンドリング方法の適正化、近傍のエアの流れに基づいた作業者と製品構成物との相対位置の適正化等を検討すると良い。
〇管理方法
上記評価方法に基づいて、一定期間ごと継続的に評価することで、改善すべき作業やレイアウトが特定可能となる。
また、クリーンブースを間欠運転している場合、その影響を評価し、運転プロファイルの適正化を図ることができる。
